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射頻探針臺的發展歷程

發布時間:2022-08-10      點擊次數:301
  隨著半導體市場的逐步開放和增長,射頻探針臺作為半導體檢測儀器,其市場也在逐年增長和擴大中,不論是海外品牌還是國產品牌,近幾年在半導體檢測儀器市場中的規模都在逐年擴大。這里面說的半導體元件指的是集成電路,分立器件,光電器件,傳感器等元件以及封裝的測試。本設備主要的功能就是針對半導體元件進行檢測,通過配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流,電阻和電容電壓特性曲線等參數檢測??梢赃m用于對芯片進行科研分析,抽查檢測等;可以保證這些半導體元件的質量,縮短研發時間和器件制作工藝的成本,所以,它的存在對于制造半導體的企業來說是非常重要的。
 
  從傳統上講,射頻探針的接觸是用鈹-銅制作的。而且人們在較早時期采用射頻探針技術與今天的工具是很不相同的。早期探針使用了由一個很短的50-Ω微帶線,通過探針基片上一個小孔而與被測器件的壓點相接觸。此時,其技術難度在于如何突破4GHz時實現可重復測量。雖然有可能通過校準過程來剔除一個相對較大的串聯電感的影響,但當圓晶片的夾具被移動時,輻射阻抗會有較大的變化。高頻測量使用的設計與用于直流和低頻測量的極尖不同,而且須使50-Ω環境盡可能地接近于DUT壓點。
 
  之后工程師在探針技術上取得了突破,才確定了射頻探針的基本要求和工作原理,射頻(RF)探針在射頻產品生命周期中幾乎每一個階段都起著重要作用:從技術開發,模型參數提取,設計驗證及調試一直到小規模生產測試和生產測試。通過使用射頻探針,人們便有可能在晶片層次上測量射頻組件的特性。這可以將研究和開發時間縮短并且大大降低開發新產品的成本。
 
  射頻探針臺是半導體、晶圓、集成電路中重要的檢測設備,隨著全球半導體產業向中國轉移,我國探針臺市場需求持續攀升。當前受益于5G、人工智能等產業發展帶動,半導體芯片出貨量維持增長趨勢,則探針臺行業長期景氣。在生產方面,隨著國內生產技術不斷革新,國產化率提升。