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高低溫半自動探針臺在以下兩個應用需要真空測試環境

發布時間:2022-09-23      點擊次數:167
   高低溫半自動探針臺是一種用于數學領域的分析儀器,為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和高低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。
  在不同測試環境、不同溫度條件下可對微結構半導體器件、微電子器件及材料進行電學特性表征測試??梢詫Σ牧匣蚱骷M行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。
  
  高低溫半自動探針臺在以下兩個應用需要真空測試環境:
  1、低溫測試:
  因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
  
  2、高溫無氧化測試:
  當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
  晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。