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uf200探針臺是專為通用邏輯裝置而設計的設備

發布時間:2022-09-16      點擊次數:288
   uf200探針臺是一種用于生物學領域的電子測量儀器,專為通用邏輯裝置而設計,支持對8英寸及8英寸以下晶圓進行自動測試,支持200um薄片的測試,測試溫度范圍從室溫到150度。它不僅繼承了UF200的基本概念,同時進一步采用了新技術的架構??梢蕴峁┚AOCR自動識別,自動控制、與測試機聯動對8英寸及8英寸以下晶圓進行自動測試的篩選。
  
  產品特點:
  1、它可執行5至8英寸晶圓的傳輸與針測。
  2、采用和UF2000相同的MMI。
  3、多種選擇,可達成所有非業界標準種類的晶圓針測。
  4、增加生產量和生產率;
  5、減少的應用程序的要求或測試時間短的大量測試成本;
  6、40%-50%增進系統的吞吐量和降低生產成本。
  
  uf200探針臺使用方式:
  1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
  2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
  3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
  4、待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針前進少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經接觸。
  5、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。
  
  設備還有以下選項:
  1、針測環境可接納高溫至低溫;
  2、英寸晶圓探測環境;
  3、樞紐型機械手臂是為了針測端而設計;
  4、封裝與超薄晶圓的傳輸是經由特殊傳輸機制;
  5、SEMS是經由特殊機制傳輸;
  6、微小電流針測環境;
  7、高壓電針測環境;
  8、廣泛多樣的網絡環境;
  9、探針追蹤檢查功能。