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初步認識什么是手動探針臺

發布時間:2022-08-23      點擊次數:453
   手動探針臺是廣泛應用于半導體行業的綜合經濟型測試儀器,主要用于半導體芯片的電參數檢測。以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微?。{米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。
  
  首先我們先來了解什么是探針臺?
  它是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
  
  主要功能:
  搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IVCV脈沖/動態IV等參數。
  探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上,從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
  
  應用范圍:
  手動探針臺廣泛用于I-V/C-V測試,脈沖I-V測試,RF/mmW測試,高壓、大電流測試,MEMS、光電器件測試,晶圓級失效分析、霍爾測試等等應用方向的測試測量。圖形化界面操作系統可方便設置多種外接電源、多個IV同時測試,數據圖表疊加顯示等多種功能,實現I-V/C-V等測試。